拋光液供液系統(tǒng)
Xplaim-ST-SDS
設(shè)備概述
主要應(yīng)用于半導(dǎo)體濕法行業(yè)各種拋光液Slurry的供應(yīng)
設(shè)備亮點
機(jī)型種類多
廠務(wù)中央供液CDS和設(shè)備端Local CDS，可以供原液，也可以增加稀釋混液系統(tǒng)。
適用于DSP、EP、FP等各種拋光機(jī)。
專業(yè)性設(shè)計
針對拋光液Slurry特性使用行業(yè)驗證的針對性關(guān)鍵配件，比如磁懸浮泵、連續(xù)液位計、控溫系統(tǒng)等。
可靠性強
多種數(shù)字儀表，電導(dǎo)率、PH計、溫度、壓力、流量、空桶檢測等檢測系統(tǒng)工況。
自動化程度高
自動配液、自補液，可選拋光后回收或直排。與廠務(wù)MES通訊上傳工藝參數(shù)。