江蘇芯夢(mèng)半導(dǎo)體設(shè)備有限公司

  • 地址：江蘇省蘇州市吳中經(jīng)濟(jì)開發(fā)區(qū)東吳南路25號(hào)城南科技產(chǎn)業(yè)園7幢（2號(hào)廠房）

  • 電話：0512-67296032

  • 傳真：0512-67296032

  • 企業(yè)郵箱：sales@js-xm.com.cn

合作熱線

  • 戰(zhàn)略合作：fuxing.wang@js-xm.com.cn

  • 技術(shù)交流：louis.shao@js-xm.com.cn

  • 供應(yīng)鏈合作：sunshine@js-xm.com.cn

單片清洗設(shè)備

全自動(dòng)背面腐蝕設(shè)備

Xtrim-SC-BC300
Xtrim-SC-BE300

設(shè)備概述

Loadport*2、Chamber*2、Bernoulli Robot、Bernoulli Chuck

設(shè)備亮點(diǎn)

定制化設(shè)計(jì)

  • 支持6”&8”&12”inch Wafer。

  • 支持THK：100-775um。

  • 支持Taiko片、Glass片等。

自動(dòng)化生產(chǎn)

  • Robot自動(dòng)上下片。

  • 支持自動(dòng)混液和供液。

非接觸式傳輸與刻蝕

  • 設(shè)備采用伯努利機(jī)械手，實(shí)現(xiàn)非接觸晶圓傳輸。

  • 采用伯努利Chuck能夠很好的保護(hù)Wafer正面，防止反濺腐蝕。

工藝性能優(yōu)異