ENEPIG（鎳鈀金）化學鍍設備
Xtrim-ENEPIG-300/200/150
設備概述
Load/Unload、Pretreatment Unit、Ni/Pd/Au Dual Tank Unit、IPA Dryer/Marangoni Dryer、Auto CDS&PM Unit、Online Analyzer
設備亮點
定制化
多元化工藝匹配，支持超20種化學藥水的應用。
直線型/L 型布局可選。
Turn-Key
與ATO Tech/NOVA深度合作，提供“設備+藥水+分析”全流程解決方案。
均勻性佳
自主研發(fā)立體式拋動+獨特的均流管設計，鍍層均勻性≤5%。
高產能
支持雙CST設計，產能最大化。
多套機械協(xié)同作業(yè)，產品無等待。
雙鎳鈀金槽，PM時無產能損失。
全自動
支持OHT/AGV對接，全自動上下料。
全自動配液，全自動PM。
全自動分析及藥水添加。
行業(yè)認證
SEMI S2
CE