喜訊！ 江蘇芯夢入選2022年蘇錫常首臺（套）重大裝備認(rèn)定名單！
近日傳來喜訊，蘇州市工業(yè)和信息化局對2022年蘇錫常首臺（套）重大裝備擬認(rèn)定名單進(jìn)行公示，江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司的ENEPIG全自動化學(xué)鍍鎳鈀金系統(tǒng)設(shè)備成功入圍！
江蘇芯夢半導(dǎo)體設(shè)備有限公司
榜上有名，成功入選
2022年蘇錫常首臺（套）重大裝備
擬認(rèn)定名單
什么是首臺（套）？
為加快推進(jìn)蘇錫常一體化發(fā)展，鼓勵和引導(dǎo)裝備企業(yè)開展技術(shù)創(chuàng)新，建設(shè)自主可控的先進(jìn)制造業(yè)體系，根據(jù)《常州市工信局、蘇州市工信局無錫市工信局關(guān)于印發(fā)＜蘇錫常首臺（套）重大裝備認(rèn)定管理辦法＞的通知》（常工信規(guī)【2021】1號）和《常州市工信局 蘇州市工信局 無錫市工信局關(guān)于組織開展2021年蘇錫常首臺（套）重大裝備認(rèn)定工作的通知》（常工信裝備【2021】308號）等文件要求，經(jīng)企業(yè)自主申報、地區(qū)推薦、形式審查、材料評審、現(xiàn)場核查、網(wǎng)上公示等程序，今年蘇州地區(qū)共有30個裝備入圍。
“首臺套”是指具備自主知識產(chǎn)權(quán)的高端裝備，經(jīng)過創(chuàng)新，其品種、規(guī)格或技術(shù)參數(shù)等有重大突破，需要滿足產(chǎn)品自主可控程度高、掌握裝備生產(chǎn)的核心技術(shù)和關(guān)鍵工藝、在設(shè)計與制造技術(shù)等方面具有標(biāo)志性突破或根本性改進(jìn)、核心技術(shù)及關(guān)鍵部件安全可控等基本條件。“蘇錫?！笔着_（套）重大裝備是為全面貫徹落實省委省政府關(guān)于蘇錫常都市圈建設(shè)和一體化發(fā)展的決策部署，常州攜手蘇州、無錫開展“蘇錫常”首臺（套）重大裝備的一體化創(chuàng)新應(yīng)用工作。
本次入選是政府對江蘇芯夢在半導(dǎo)體濕法裝備領(lǐng)域，特別是ENEPIG全自動化學(xué)鍍鎳鈀金系統(tǒng)設(shè)備領(lǐng)域的研發(fā)實力、人才隊伍、售后服務(wù)的認(rèn)可，江蘇芯夢將繼續(xù)在半導(dǎo)體高端濕法工藝裝備領(lǐng)域不斷開拓創(chuàng)新，在微納領(lǐng)域用先進(jìn)技術(shù)護(hù)家強國。
ENEPIG全自動化學(xué)鍍鎳鈀金系統(tǒng)設(shè)備主要用于晶圓級封裝WLP、IGBT/MOSFET晶圓制造等領(lǐng)域，江蘇芯夢基于自主知識產(chǎn)權(quán)的獨特設(shè)計，開發(fā)出了具有高沉積速率、高均勻性，低綜合能耗和成本的ENEPIG全自動化學(xué)鍍鎳鈀金系統(tǒng)設(shè)備，能夠?qū)崿F(xiàn)多Robot的互動，精密控制制程過程中的流量、溫度、循環(huán)、PH等參數(shù)。
相較于傳統(tǒng)的金屬沉積方式，ENEPIG化學(xué)鍍鎳鈀金不需要掩模版，不需要復(fù)雜的工藝流程，方式更加簡單靈活，能夠適用于不同的PAD材質(zhì)，包括：
Cu/Al/AlSi/AlSiCu/Pt/Au/Ag/GaN/Ge/GaAs 等。除了常規(guī)的方形設(shè)計，芯夢半導(dǎo)體還針對半導(dǎo)體行業(yè)場地緊張的特點，開發(fā)出了L型、U型等特殊設(shè)計，滿足客戶的不同場景，更可基于客戶實際需求，進(jìn)行深度定制。
目前該系列產(chǎn)品已導(dǎo)入包括中芯和華虹在內(nèi)的主流FAB，實現(xiàn)了我國在高端半導(dǎo)體制造行業(yè)全自動晶圓級ENEPIG化學(xué)鍍設(shè)備的國產(chǎn)替代。
江蘇芯夢致力于提供集成電路制造、先進(jìn)封裝及襯底制造領(lǐng)域高端濕法制程工藝裝備綜合解決方案，主要產(chǎn)品包括全自動晶圓級ENEPIG化學(xué)鍍設(shè)備、全自動單片清洗設(shè)備、全自動FOUP清洗設(shè)備、高深寬比TSV微盲孔填充設(shè)備等。公司成立3年來快速發(fā)展，獲得40余項專利權(quán)，先后獲得國家高新技術(shù)企業(yè)、江蘇省高新區(qū)潛在獨角獸企業(yè)、蘇州市瞪羚計劃入庫企業(yè)等認(rèn)定。